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ASML - Die europäische Firma, von der die Zukunft der gesamten Halbleiterindustrie abhängt, bekommt (noch) keine starke Konkurrenz aus China
Ein Lithografiesystem von ASML: Der niederländische Konzern liefert die Belichtungsmaschinen für nahezu die gesamte Halbleiterindustrie.
Ein niederländisches Unternehmen, das außerhalb der Branche kaum jemand auf dem Schirm hat, entscheidet seit Jahren darüber, wie schnell eure nächste Grafikkarte rechnet: ASML baut die Belichtungsmaschinen, ohne die kein moderner Chip entsteht.
Genau an diesem Nadelöhr will China vorbei. Ein staatlich gestützter Hersteller in Shanghai fertigt erstmals eigene Immersions-DUV-Belichter in Serie, wie Reuters berichtete. DUV steht an dieser Stelle für »Deep Ultraviolet« – also Belichtung mit tiefem Ultraviolettlicht. Nur: Vom Fleck kommt Peking damit vorerst kaum. Das zeigt schon ein Blick auf die Stückzahlen.
Hinter dem Gerät steckt die Shanghai Aishengna Electronic Technology Group, ein Staatsunternehmen mit Verbindungen zu Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE) und zur Shanghai Electric Group (via Wccftech). Gegründet wurde die Firma im August 2023.
Wer ist ASML – und was hat Deutschland damit zu tun?
ASML wurde 1984 im niederländischen Veldhoven als Gemeinschaftsunternehmen von ASM International und Philips gegründet und ist heute der weltgrößte Hersteller von Belichtungsanlagen. TSMC, Samsung, Intel und praktisch jede andere große Chipfabrik kaufen dort ein.
Für das EUV-Licht sorgt eine Plasmaquelle, und die arbeitet reichlich brachial: In einer Vakuumkammer schießt ein Generator 50.000 Zinntröpfchen pro Sekunde ins Leere, jedes davon bekommt zwei Laserschüsse ab. Der erste plättet den Tropfen, der zweite zündet ihn zu Plasma. Der Konzern arbeitet dabei seit gut zwei Jahrzehnten mit zwei deutschen Partnern zusammen:
Der Laser stammt von Trumpf aus Ditzingen und ist mit 30 Kilowatt nach Angaben des Unternehmens der stärkste gepulste Industrielaser der Welt. Die Optik kommt wiederum von Zeiss SMT aus Oberkochen: Linsen scheiden für EUV aus, weil Glas die Strahlung bei 13,5 Nanometern Wellenlänge schluckt – gebündelt wird der Strahl deshalb über sechs hochpräzise Spiegel.
Im ersten Halbjahr 2026 entfielen ASML zufolge 16 Prozent des Umsatzes auf China (rund 2,6 Milliarden Euro), das damit Rang drei hinter Taiwan und Südkorea belegt.
2025 lag der chinesische Anteil noch bei 33 Prozent. Der Rückgang hat zumindest in diesem Kontext also bereits begonnen, bevor die erste heimische Maschine überhaupt ausgeliefert wurde.
