// HEISE ONLINE — MODA & SOCIETÀ
Chef der Halbleitersparte von Zeiss: China 15 Jahre von EUV-Lithografie entfernt
Wie weit ist China bei der Entwicklung eigener Lithografietechnik für die Chipproduktion? Der Chef von Carl Zeiss SMT sagt, man sei „immer noch weit vorne“.
Bei der Entwicklung und Herstellung der Lithografie-Systeme zur Produktion von Halbleitern befindet sich China Jahrzehnte hinter ASML. Zu dem Schluss sind laut Bloomberg Analysten der Großbank UBS gekommen, und gegenüber dem Finanznachrichtendienst hat der Chef des wichtigsten deutschen ASML-Zulieferers diese Einschätzung bestätigt: Es sei „vernünftig“ anzunehmen, dass die Volksrepublik 15 Jahre benötigen werde, um Lithografiegeräte für extremes Ultraviolett (EUV) zu entwickeln, sagte der Chef von Carl Zeiss SMT, Frank Rohmund. Die Halbleitersparte der Carl Zeiss AG gehört zu fast 25 Prozent ASML und stellt für den niederländischen Konzern Komponenten her. Rohmund bestätigte damit eine Einschätzung aus der UBS, laut der Chinas Stand bei der Lithografie dem von ASML im Jahr 2004 entspricht.
Die Frage, wie weit China bei der Entwicklung eigener Lithografie-Systeme zur Herstellung von heimischen Chips ist, wird immer wieder aufgeworfen. Zuletzt haben Ende Juli zahlreiche Medien getitelt, dass die Volksrepublik hier vor einem großen Durchbruch stehe. Obwohl es dabei lediglich darum ging, dass ein chinesisches Unternehmen angeblich in der Lage ist – einige wenige – Lithografiegeräte herzustellen, die denen von ASML um Jahre hinterherstehen würden, sackten die Aktien des niederländischen Konzerns direkt ab. Dabei sind zahlreiche grundlegende Fragen unbeantwortet, und selbst wenn die Behauptungen stimmen würden, wäre China weit entfernt von einer Entkopplung seiner Chipindustrie.
Das bestätigen nun die Einschätzungen europäischer Branchenexperten. Laut der Analyse der UBS deuten „Patentaktivitäten“ – vor allem im Bereich Lichtquellen und Lasersubsysteme – an, dass man sich in China etwa dort befinde, wo ASML 15 Jahre vor der Massenproduktion von EUV-Systemen gewesen sei, zitiert Bloomberg. Von einer Serienfertigung der DUV-Geräte sei die Volksrepublik demnach zwei bis fünf Jahre entfernt. Die Unsicherheit resultiere aus dem begrenzten Einblick in die Leistungsfähigkeit der dort entwickelten Technik und in die Kapazität der dortigen Lieferketten. Diese Einschätzung teilt man laut Rohmund bei Carl Zeiss SMT. Die Entwicklung sei nicht überraschend, „wir liegen immer noch weit vorne“, versicherte er Bloomberg.
Keine News verpassen! Jeden Morgen der frische Nachrichtenüberblick von heise online
Ausführliche Informationen zum Versandverfahren und zu Ihren
Widerrufsmöglichkeiten erhalten Sie in unserer
Datenschutzerklärung.
Immer informiert bleiben: Klicken Sie auf das Plus-Symbol an einem Thema, um diesem zu folgen. Wir zeigen Ihnen alle neuen Inhalte zu Ihren Themen.
Mehr erfahren.